3D NAND 学习笔记--晶圆传送 wafer transfer - 知乎 - 知乎专栏
2022年9月22日 · 整个wafer在传送过程中的robot 进行运动，三个运送方向，Z轴的上下运动，平面上则以极坐标的方式标记，分为R（Radial）T（Theta）详见封面。 wafer 进入chamber之后怎么实现chuck，process 之后的chuck，可见其他笔记。
半导体晶圆搬运机械臂 | NIDEC（尼得科） - Nidec Corporation
尼得科集团研发的“SR8241”系列超洁净机械臂用于搬运半导体晶圆，它通过自主研发的三连杆结构实现了三连杆机械臂。 其他公司使用的是双连杆机械臂，而三连杆机械臂可以缩短每个臂的长度，因此我们成功地将移动范围缩小了72毫米。 半导体制造设备领域中对紧凑性的要求通常是以10mm为单位的，三连杆机械臂对该领域影响深远。 用于搬运的机械臂在前后摆放着的四个暗盒之间来回移动，但通过缩小移动范围，则可以保持半导体制造设备本身的尺寸紧凑。 此外还有 …
Wafer Handling Robots - semiconductor - Yaskawa
YASKAWA is a world renowned leader in design, manufacturing and supply of wafer handling robots for the semiconductor industry. All our robots provide high throughput and accuracy. YASKAWA offers robots for specific environmental demands:
晶圆搬运机器人 | 川崎机器人的工业用机器人
通过川崎研发的驱动构造，实现高精度且流畅的动作。 采用伸缩结构，可兼顾向低位传递和向高位输送。 通过手臂旋转中心后移实现了长手臂、无需走行装置即可应对4FOUP。 通过紧凑的手臂设计，可以节省安装空间。
Semiconductor wafer transfer robot | NIDEC CORPORATION
The Nidec Group manufactures robots to transfer wafers to semiconductor production sites. The robots receive round wafers from the previous process of production, and transfer them to the next part. Recent years have witnessed a rise in demand for compact semiconductors to save the size of space to be kept clean, and install more semiconductor ...
JEL Corporation | Wafer Transfer Robot for Semiconductor …
2023年11月22日 · JEL is the leading manufacturer of clean robots for handling wafers or FPD substrates.
晶圆机器人 - 晶圆半导体 - 纳博特运动控制 - iNexBot
晶圆分选机（Wafer SORTER）是用于半导体制造行业的过程设备，通过设备内部的微环境保证倒片过程的洁净要求，实现 Wafer 的下线、制程前分批、制程后合并、制程间倒片的卡控和产品出厂校验、排序。
Semiconductor | Industrial Robots by Kawasaki Robotics
Kawasaki Robotics’ industry-leading suite of compact, accurate, high-speed semiconductor robots enable manufacturers to automate silicon wafer transfer and logistics throughout the integrated circuit manufacturing process and meet today’s demanding throughput requirements.
Wafer Handling Robotics | Solutions | Brooks - Brooks Automation
Brooks Automation's Wafer Handling Robotics are the industry standard for vacuum robot performance, reliability, and cleanliness. Contact us for solutions.
Wafer Transfer Robots | Industrial Robots by Kawasaki Robotics
Speed, accuracy, and reach make these robots ideal for handling delicate semiconductor wafers, LCD panels, organic EL, and solar panels. They are compliant with the SEMI-F47 and SEMI-S2 standards and can access 3 to 4 FOUPS without a track.