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  1. baidu.com
    https://baike.baidu.com/item/退火炉

    退火炉（半导体器件制造中使用的一种工艺）_百度百科

  2. wikipedia.org
    https://zh.m.wikipedia.org/zh-hans/退火

    退火 - 维基百科，自由的百科全书

  3. zhihu.com
    https://zhuanlan.zhihu.com/p/661671929

    半导体退火技术 - 知乎 - 知乎专栏

  4. zhihu.com
    https://zhuanlan.zhihu.com/p/649846922

    聊聊常见的晶圆退火工艺 - 知乎 - 知乎专栏

  5. appliedmaterials.com
    https://www.appliedmaterials.com/cn/zh_cn/semiconductor/...

    Rapid Thermal Processing - Applied Materials

  6. instrument.com.cn
    https://www.instrument.com.cn/news/20240306/707523.shtml

    半导体快速退火炉的原理和应用 - 仪器信息网

  7. zhihu.com
    https://zhuanlan.zhihu.com/p/133130644

    退火炉工艺的简单介绍 - 知乎 - 知乎专栏

  8. tenova.com
    https://loi.tenova.com/sites/default/files/files/paragraphs/2023/...
    [PDF]

    HPH 罩式退火设备和工艺 应用于棒、线材热处理 - Tenova

  9. zhihu.com
    https://www.zhihu.com/tardis/zm/art/660135087

    半导体快速退火炉的原理和应用 - 知乎

  10. tencent.com
    https://cloud.tencent.com/developer/article/2441523

    快速退火炉：材料加工与半导体制造的关键技术探析-腾讯云开发者 …